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一、“十一五”產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧
（一）產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)穩(wěn)定增長
我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)在“十一五”期間保持了較高的增速，雖然期間受全球金融危機(jī)影響，2008年下半年至2009年上半年呈現(xiàn)出下滑態(tài)勢(shì)，但在國內(nèi)多項(xiàng)政策激勵(lì)下，隨著世界經(jīng)濟(jì)逐步回暖，電子專用設(shè)備儀器業(yè)企穩(wěn)回升，實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)、銷售和經(jīng)濟(jì)效益總體平穩(wěn)增長的態(tài)勢(shì)。
據(jù)統(tǒng)計(jì)，“十一五”期間我國電子專用設(shè)備銷售收入年均增長率為20%，從2005年的783億元增長到超過1987億元，電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)的行業(yè)骨干企業(yè)年均增長率為25%，從52.7億元增長到160.6億元。統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)表明，“十一五”期間我國電子儀器規(guī)模以上企業(yè)年均增長19％，到“十一五”末實(shí)現(xiàn)銷售收入940億元。五年間，電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)品中太陽能光伏設(shè)備以及元器件參數(shù)測量儀器、超低頻測量儀器等保持了較大幅度的增長。
（二）重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得較大成績
“十一五”期間，國家科技重大專項(xiàng)圍繞光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、65納米制造工藝、先進(jìn)封裝設(shè)備等重點(diǎn)任務(wù)，集中資源重點(diǎn)投入，取得很大進(jìn)展。北方微電子及上海中微公司2種12英寸65納米刻蝕機(jī)產(chǎn)品樣機(jī)已進(jìn)入大生產(chǎn)線進(jìn)行考核驗(yàn)證；上海微電子公司封裝光刻機(jī)已進(jìn)入長電科技考核測試；七星華創(chuàng)12英寸氧化爐已進(jìn)入大線測試；中科信12英寸離子注入機(jī)已完成3臺(tái)樣機(jī)組裝，正在進(jìn)行測試。多種12英寸關(guān)鍵設(shè)備陸續(xù)進(jìn)入大生產(chǎn)線考核驗(yàn)證，標(biāo)志著我國集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)已初步形成產(chǎn)業(yè)化發(fā)展態(tài)勢(shì)。
“十一五”期間新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)帶來了良好的發(fā)展契機(jī)。尤其是我國晶硅太陽能電池設(shè)備年均增長率達(dá)到58%，基本具備了從晶體硅到太陽能電池片的成套生產(chǎn)線設(shè)備供應(yīng)能力，為我國光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了有力保障。晶硅太陽能設(shè)備爆發(fā)式增長，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)“十一五”規(guī)劃目標(biāo)提供了有力支撐。
（三）電子儀器產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整初見成效
電子儀器產(chǎn)業(yè)根據(jù)市場應(yīng)用需求的變化，不斷調(diào)整結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品種類日益豐富。針對(duì)多功能、多參數(shù)的復(fù)合測試需求，測試設(shè)備從單臺(tái)儀器向大型測試系統(tǒng)形式邁進(jìn)；電子測量儀器向模塊化和合成儀器方向發(fā)展；野外工程應(yīng)用需求不斷促進(jìn)測試儀器向便攜式和手持式升級(jí)；新型的實(shí)時(shí)頻譜分析儀開始推向市場；3G、數(shù)字電視等民用領(lǐng)域?qū)I(yè)測試儀器新品不斷涌現(xiàn)。
（四）產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力不斷提升
“十一五”以來，電子專用設(shè)備儀器行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)通過引進(jìn)國內(nèi)外的高科技人才，加強(qiáng)與高校、科研單位的合作，在關(guān)鍵設(shè)備和開發(fā)中規(guī)避已有的國外專利，開發(fā)出一批技術(shù)含量高、性能穩(wěn)定、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，初步建立起了以企業(yè)為主體的技術(shù)創(chuàng)新體系。
在國家“863”計(jì)劃、國家科技重大專項(xiàng)的支持下，一批具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的集成電路設(shè)備進(jìn)入了大生產(chǎn)線。我國的無鉛焊接設(shè)備達(dá)到了國際先進(jìn)水平，成為我國表面貼裝設(shè)備市場中最具競爭力的產(chǎn)品。電子儀器行業(yè)的本土企業(yè)逐步進(jìn)入自主研發(fā)階段，初步掌握核心和高端儀器技術(shù)，能夠?yàn)閲抑卮蠊こ烫峁┐蟛糠峙涮纂娮觾x器。在部分特種電子儀器產(chǎn)品方面打破了國外禁運(yùn)和技術(shù)封鎖，為重點(diǎn)裝備的技術(shù)保障和研制建設(shè)提供了有力支撐。
（五）產(chǎn)業(yè)鏈整合進(jìn)程日益加速
在國家科技重大專項(xiàng)引導(dǎo)下，以龍頭企業(yè)為核心的產(chǎn)業(yè)鏈整合進(jìn)程持續(xù)加速。北方微電子、上海中微、七星華創(chuàng)等整機(jī)企業(yè)與北京科儀、沈陽科儀、沈陽新松等零部件企業(yè)圍繞刻蝕機(jī)、注入機(jī)、氧化爐等高端芯片制造裝備與關(guān)鍵部件進(jìn)行聯(lián)合攻關(guān)；江蘇長電、南通富士通等國內(nèi)封裝龍頭企業(yè)聯(lián)合26家企業(yè)開展成套封裝設(shè)備與配套材料的系統(tǒng)應(yīng)用工程。按照上下游配套的“項(xiàng)目群”方式，系統(tǒng)部署實(shí)施重大專項(xiàng)，有力促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的建立、產(chǎn)業(yè)規(guī)模的增長和綜合配套能力的形成。
（六）產(chǎn)業(yè)扶持政策逐步完善
《國務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見》將集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器件生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備、無鉛工藝的整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備列入了國家重大技術(shù)裝備中，加大政策支持和引導(dǎo)力度，鼓勵(lì)本土重大技術(shù)裝備訂購和使用，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造了有利的市場環(huán)境?！皹O大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(xiàng)的實(shí)施，有力帶動(dòng)了我國電子專用設(shè)備儀器技術(shù)提升。
“十一五”期間我國電子專用設(shè)備儀器行業(yè)取得較大成績，但仍存在突出問題：產(chǎn)業(yè)規(guī)模偏小，本土企業(yè)實(shí)力不強(qiáng)；自主創(chuàng)新能力有待提高，高端設(shè)備開發(fā)相對(duì)落后；部分產(chǎn)品性價(jià)比雖高，但可靠性較差，市場占有率低；設(shè)備開發(fā)與產(chǎn)品制造工藝脫離，影響了技術(shù)成果產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程；高水平、復(fù)合型人才缺乏。
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